真空泵廠家介紹超高真空系統的暗轉調試 　　真空系統安裝到位后，全無油渦輪分子泵機組對系統進行粗抽，同時用高靈敏度氦質譜檢漏儀（vari-an公司，最小可檢漏率≤1×10-9pal/s）對系統進行檢漏。確認無漏后，用特制的烘烤外套包裹各真空室。烘烤過程由計算機控制。每小時升溫30℃，烘烤溫度250℃，保溫時間40h，然后再以30℃/h的速度降溫。烘烤產生的熱脹冷縮在直線段問題不大，一般都會回到原位。但對于二極鐵真空室這樣的曲線段能否回位還需要進行測試。烘烤前，在二極鐵真空室及兩端波紋管上放置了5個千分表以測量烘烤過程中各點的位移。列出了溫度在250℃時和溫度降回到室溫時各點的位移數據。從表上數據可以看出，由于波紋管的力量不足以推動二極鐵真空室，在溫度降到室溫時，二極鐵真空室沒有回到起始位置。
　　為保證二極鐵真空室的位置精度，需要設計一個回位裝置，在每次烘烤結束時，用該裝置將二極鐵真空室推回原位。在烘烤過程中，對規管、質譜計燈絲多次除氣，同時用27-29a的電流對鈦升華泵各燈絲循環除氣三葉羅茨真空泵。烘烤中期，啟動濺射離子泵。保溫結束時關閉全金屬密封插板閥，切斷粗抽系統。烘烤結束后，真空度很快上升到10-8pa，此時將4臺鈦升華泵燈絲電流調到48a，對應電壓約5v，讓燈絲升華1.5min.開始時由于蒸發熱使系統真空度下降，但很快好轉。
　　此后在這臺樣機上多次重復抽空、烘烤過程，檢測各種數據，并不斷改進烘烤控制程序。從真空度測試結果看重復性非常好。超高真空實驗室的建立及實驗工作csr超高真空實驗室使用面積約500m2，羅茨水環真空機組其中超凈室面積約70m2。實驗室有2個10-10pa的實驗樣機，為csr真空系統的設計、加工方案的確定、疑難問題的研究和解決提供了良好的條件，同時可以完成超高真空環境下的各種實驗。還有2套泵抽速和極限真空測試系統（dn150、dn200）和1套規管校準系統。利用超高真空實驗室，我們做了如下工作。
　　試安裝、調試各真空元件建立大面積的超高真空實驗室，主要目的是在相對潔凈的環境中試安裝、調試各真空元器件。目前已有120余米約200件真空室及設備在這里安裝、調試過。其中有csr注入線真空系統的所有元器件，也有蘭州重離子加速器（hirfl）真空系統改造的管道及設備。在完成安裝、檢漏、烘烤（一般至少2個循環）后，測試真空度指標，達到指標后，再運到現場總裝。